Análise do perfil de boro para produção de células solares base p com redução de etapas térmicas

Resumen

Células solares processadas com boro estão sendo produzidas pela indústria devido a possibilidade de aumento de eficiência e a difusão de boro é uma etapa importante. Uma alternativa à difusão com BBr3 é o método de spin-on. Neste contexto, o objetivo deste trabalho é analisar o perfil
de boro produzido por spin-on e com redução de etapas térmicas, na formação do campo retrodifusor bem como os parâmetros elétricos de células solares. Para reduzir os passos, a difusão de boro e oxidação foram realizadas na mesma etapa térmica. Concluiu-se que o óxido de silício foi eficaz em evitar a difusão de fósforo na face com boro e que ocorreu a segregação do boro para a camada de SiO2, independente da temperatura de difusão de boro (TB). Células solares processadas com TB = 970 °C alcançaram a eficiência de 17,3 %, que corresponde ao maior valor de dispositivos desenvolvidos no Brasil.